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为得到高质量、高平整度的铜表面,采用SiO2溶胶抛光液对铜进行抛光实验,在给定的条件下,得到了磨料粒子的浓度与抛光速率间的机械作用曲线。
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- inhalation of silica particles矽尘吸入
- ion beam polishing离子束抛光
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